金属热处理

作者：云璐, 郝新

单位：1.内蒙古机电职业技术学院 冶金与材料工程系, 内蒙古 呼和浩特 010070;；2.内蒙古工业大学 材料科学与工程学院, 内蒙古 呼和浩特 010050

关键词：退火温度,TiN/TiCN薄膜,磁控溅射,残余应力,结构,耐蚀性

采用反应磁控溅射在AZ31合金上制备了TiN/TiCN薄膜,并对沉积后的薄膜进行真空去应力退火。分别采用X射线荧光光谱仪(XRF)、扫描电镜(SEM)、掠入射X射线衍射(GIXRD)和电化学工作站对退火前后的薄膜进行表面化学成分、形貌结构、残余应力以及耐蚀性能分析。结果表明:薄膜由FCC结构的TiCN和TiN组成。退火后,薄膜的晶粒尺寸和结晶度增大,内部残余应力显著下降,电化学腐蚀区域的Ti、C、N元素含量下降,250 ℃退火薄膜的耐蚀性能与沉积态薄膜相当,300 ℃退火后薄膜的耐蚀性能下降。

来源：2021年第5期

《金属热处理》期刊编辑部

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