金属热处理

作者：刘乃瑜, 曹磊, 郑少梅

单位：青岛理工大学 机械与汽车工程学院, 山东 青岛 266033

关键词：磁控溅射,CrCN涂层,沉积温度,力学性能

使用磁控溅射技术在304不锈钢表面制备CrCN涂层,研究了沉积温度(200、250、300、350和400 ℃)对涂层结构及力学性能的影响。研究表明,沉积温度为250 ℃时,涂层的晶粒尺寸及表面粗糙度最大,但随着沉积温度的进一步升高,涂层的晶粒逐渐细化,表面粗糙度明显下降;同时涂层硬度伴随沉积温度的升高出现先增大后减少的趋势,沉积温度为350 ℃时,薄膜具有最高的硬度(22.85 GPa),抗弹性形变和抗塑性形变能力最好,体现出优异的力学性能。

来源：2022年第4期

《金属热处理》期刊编辑部

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