金属热处理

作者：张巧霞, 张博厚, 徐国进, 郝海英, 罗俊锋, 何金江

单位：1. 有研亿金新材料有限公司, 北京 102200;；2. 北京市高纯金属溅射靶材工程技术研究中心, 北京 102200; ；3. 集成电路关键材料国家工程研究中心, 北京 100088

关键词：溅射靶材,NiPt5合金,微观组织,轧制变形,磁性能

采用光学显微镜观测、透磁率测试分析、模拟计算等方法,研究NiPt5合金的微观组织随热处理温度的演变规律及热处理条件和轧制变形量对磁性能的影响。结表果明,NiPt5合金经过开坯和变形,750 ℃×2 h热处理时再结晶不完全,当温度达到900 ℃后,晶粒尺寸细小且分布均匀。当NiPt5合金发生回复及再结晶以后,其平均透磁率较轧制态有明显降低,并在此阶段内波动不大,当完全再结晶及晶粒长大以后,平均透磁率进一步降低。结合模拟轧制变形过程中的内应力变化,发现随着板坯变形量增大,其内部应力增加,位错密度增加,畴壁移动阻碍增多,平均透磁率显著提升,之后随着变形量增加,应力和位错密度达到饱和,平均透磁率趋于平稳。随着变形量增加,内部应力增大且分布不均匀,透磁率极差呈增大趋势。

来源：2024年第1期

《金属热处理》期刊编辑部

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