金属热处理

作者：孙洁, 梁金伟, 赵炯, 陈思凡, 孙绍恒, 王永胜, 于盛旺

单位：1.太原理工大学 材料科学与工程学院, 山西 太原 030024; 2.国网电力工程研究院有限公司, 北京 100054

关键词：高熵合金,金刚石薄膜,化学气相沉积,耐腐蚀性能

基金：山西省水利科学技术研究与推广项目(2025GM13);山西省归国留学人员科研基金(2024-057)

采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在(MoW)0.5(TiZrTa)0.5高熵合金表面沉积金刚石薄膜,并对其耐蚀性进行了研究。SEM及XRD结果发现:沉积10 min时,试样表面未形成连续金刚石薄膜,且晶粒尺寸较小;沉积20 min时,试样表面金刚石连续成膜,最大晶粒尺寸约为400 nm;沉积30 min时,试样表面形成尺寸达10~20 nm的连续纳米金刚石薄膜。沉积金刚石薄膜试样结构均由金刚石薄膜、碳化物层和高熵合金组成,其中,碳化物包括MoC(103)、Mo2C(101)和W2C(101)等。电化学测试结果表明:沉积10 min试样由于未形成连续薄膜导致耐腐蚀性能较差;沉积20 min试样的耐腐蚀性能最好,具有最小自腐蚀电流密度(4.752×10-7 A/cm2)和最大的极化电阻(134.860 kΩ),且自腐蚀电位达到-0.286 V(vs SCE);沉积30 min试样由于产生纳米金刚石相导致缺陷和晶界增多,晶间腐蚀加剧,耐腐蚀性能较沉积20 min试样有所下降。

来源：2026年第2期

《金属热处理》期刊编辑部

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